ASML occupe une place singulière dans l’industrie des semi-conducteurs : l’entreprise néerlandaise ne fabrique pas les puces, mais fournit des équipements indispensables à leur production. Depuis Veldhoven, son siège près d’Eindhoven, elle développe des systèmes de lithographie utilisés pour transférer les motifs des circuits sur des plaquettes de silicium. Ses clients comprennent notamment TSMC, Samsung et Intel. Son site institutionnel est asml.com.
Des origines néerlandaises à une position stratégique
ASML naît en 1984 d’une coentreprise entre Philips et ASM International. Ses premières années sont consacrées au développement de machines de lithographie dans un marché déjà disputé par des groupes japonais. L’entreprise construit progressivement sa position grâce à la précision de ses équipements, à leur productivité et à une coopération étroite avec les fabricants de puces.
Introduite en Bourse en 1995, elle poursuit ses investissements dans la recherche et dans son réseau de partenaires. Le développement de la lithographie à ultraviolet extrême, ou EUV, constitue un tournant majeur. Fruit de décennies de travaux collectifs, cette technologie devient un outil de production industrielle pour certaines des générations de puces les plus avancées. ASML est le seul fournisseur de systèmes EUV destinés à cette production.
Des machines, des logiciels et un écosystème industriel
La lithographie consiste à exposer à la lumière une résine photosensible déposée sur une plaquette, afin d’y définir les motifs qui guideront les étapes suivantes de fabrication. ASML commercialise des systèmes à ultraviolet profond, dits DUV, toujours largement utilisés, ainsi que des systèmes EUV pour les motifs les plus fins. Une même puce mobilise de nombreuses étapes de lithographie, sans recourir nécessairement à l’EUV pour toutes ses couches.
Cette activité associe optique, sources lumineuses, mécanique de précision, contrôle et logiciels. ASML s’appuie notamment sur Zeiss pour des composants optiques essentiels. Le groupe propose également des solutions de métrologie et d’inspection, ainsi que des services de maintenance et de modernisation des équipements installés. La performance dépend autant de la résolution obtenue que de la cadence, de la disponibilité des machines et de leur intégration dans les usines.
Et maintenant ?
La prochaine étape technologique repose notamment sur l’EUV à haute ouverture numérique, ou High-NA, conçu pour accroître la finesse des motifs réalisables. Son adoption dépendra toutefois des arbitrages des clients entre gains techniques, coût des équipements et complexité des procédés. Les besoins liés à l’intelligence artificielle soutiennent les investissements dans les puces avancées, sans supprimer les cycles de l’industrie.
ASML doit aussi composer avec les restrictions à l’exportation, particulièrement sensibles dans ses relations commerciales avec la Chine. Ces règles touchent l’accès à certains équipements et peuvent évoluer selon les décisions des autorités. Pour l’entreprise, l’enjeu est de poursuivre sa feuille de route technologique tout en sécurisant une chaîne de fournisseurs très spécialisée et en accompagnant les nouvelles capacités de production de ses clients.